電子制造業(yè)包括電子設(shè)備(計算機、電視、通訊設(shè)備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導(dǎo)體材料等)的工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。

以上這些電子行業(yè)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境潔凈度有不同程度的要求，從潔凈度100級、1000級到萬級、十萬級的電子無塵車間都有廣泛的應(yīng)用，主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細(xì)jun污染物，例如線路板PCB生產(chǎn)的照相、制版、SMT、干膜車間，芯片生產(chǎn)的蝕刻、離子注入、CMP車間;封裝企業(yè)的劃片、鍵合車間;電子儀器微電子的裝配車間;半導(dǎo)體材料生產(chǎn)的拉單晶、清洗、外延車間;液晶顯示器生產(chǎn)的陳列板、成盒、STN-LCD車間;鋰電子生產(chǎn)的干工藝車間;電容電阻生產(chǎn)的絲印、流延車間;光導(dǎo)纖維的拉絲、光盤制造車間等等。

一、什么是電子制造業(yè)的無塵車間?

這類用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的無塵車間，共同之處是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)jun等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi)，而專門設(shè)計建造的生產(chǎn)車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域和產(chǎn)品的不同，無塵車間也有設(shè)計方案上的區(qū)別，因此，電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計，也是一項綜合的通風(fēng)凈化技術(shù)。只有充分了解電子制造業(yè)的各車間功能、生產(chǎn)工藝特點等，經(jīng)合理優(yōu)化的設(shè)計，才能創(chuàng)造出符合行業(yè)發(fā)展要求的無塵潔凈環(huán)境，使得電子制造業(yè)的生產(chǎn)效率大大提高。

二、電子制造業(yè)無塵車間有什么技術(shù)特點?

電子無塵車間涵括了多個等級潔凈室的應(yīng)用，其中千級(粒徑≥0.5UM塵粒，不大于35000顆/立方米)和萬級(粒徑≥0.5UM塵粒，不大于350000顆/立方米)無塵潔凈車間在各個工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、新風(fēng)量嚴(yán)格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風(fēng)速可按用戶實際需求或潔凈規(guī)范受控。另外，電子廠房對靜電防護(hù)要求其嚴(yán)格，因此對無塵車間的濕度控制指標(biāo)尤甚，過于干燥車間內(nèi)部易產(chǎn)生靜電，存在電子元件的損壞風(fēng)險，而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會縮短電子產(chǎn)品的車間壽命。一般來說，電子無塵車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間，可有效地消除靜電，并使車間人員活動感覺舒適。

三、概括來說，電子無塵車間有以下技術(shù)指標(biāo)：

1. 塵埃粒子數(shù)控制范圍：

潔凈度 塵粒至大允許數(shù)/立方米

*：靜態(tài)→≥0.5μm→3520；靜態(tài)→≥5.0μm→20

B級：靜態(tài)→≥0.5μm→3520；靜態(tài)→≥5.0μm→29

C級：靜態(tài)→≥0.5μm→352000；靜態(tài)→≥5.0μm→2900

D級：靜態(tài)→≥0.5μm→3520000；靜態(tài)→≥5.0μm→29000

態(tài)懸浮粒子檢測儀器：塵埃粒子計數(shù)器

2、車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)。

噪聲檢測儀器：噪聲儀/聲級計

3、車間垂直流滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流不應(yīng)小于40%。

4、無塵車間內(nèi)與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

壓差檢測儀器：壓差儀

5、車間室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的至大值：

(1)補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

7、車間的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項至大值：保證電子無塵車間空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定電子無塵車間的送風(fēng)量;向無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量。